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        東莞東歐真空設備有限公司
                                
                
                
        

								
				
        
														
        
			
        
            
			
        
		
        
	
        
	
	
        
		
        
            
        
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        愛德華IH系列干泵維修
        
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        iH高真空干泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案
        
				
        
				
        
                    詳細介紹
                
        
			    
        
			        
        
			              
        iH 高真空干泵 
        我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和 封閉的水冷卻電機。
         
        應用
        負載鎖定
        轉換
        計量
        平版印刷
        PVD 制程
        PVD 預清潔
        RTA
        剝離/灰化
        刻蝕
        植入源
        HDP CVD
        RTP
        SACVD
        MCVD
        PECVD
        LPCVD
        ALD
        功能與優勢
        優化了設施消耗
        無需預防性維護
        懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理

         
			        
        
			    
        
                                                				
        
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