青島芯笙微納電子科技有限公司
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緊湊型流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業內的流量傳感器芯片技術，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。
緊湊型流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業內的流量傳感器芯片技術，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數字通信方式。
半導體加工
分析儀器
燃燒控制器
真空技術
表面處理
食品和制藥
化工（石化）等過程控制
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緊湊型流量控制器產品特點 Feature
溫度和壓力不敏感
*的零點穩定性
超快的響應速度
良好的重復性和再現性
多種信號輸出方式
配備比例電磁閥
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緊湊型流量控制器產品規格
參數說明 | |
介質要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類 | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 |
量 程 | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5) SLM |
精 度 | 0-50℃，讀數誤差的1%或滿量程誤差的0.8%，二者取最大值 |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
響應時間 | ≤0.7S |
環境條件 | |
介質溫度 | 0~50℃ |
工作溫度 | -20~70℃ |
工作濕度 | 10%~90%RH（無結冰，無凝露） |
工作壓力 | 0~1MPa |
儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓 | DC24V，紋波 ≤50mV |
功 耗 | 2.4W |
啟動時間 | <1s<> |
預熱時間 | <10ms<> |
通信接口 模擬信號（電流、電壓） | |
接口類型 | D-SUB 9針 |
電流信號 | 4-20mA (線性對應量程) |
電壓信號 | 1-5V (線性對應量程) |
數字信號（RS485） | |
接口類型 | RJ45、D-SUB 9針 |
通信速率 | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通過指令或者上位機修改） |
協 議 | RS485（默認Modbus-RTU，可定制私有協議） |
設備地址 | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
大節點數 | 250 |
機械參數 | |
接頭類型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可選 |
主體材質 | 底座：316L不銹鋼，外殼：碳鋼 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.75kg |
尺寸圖 Dimension
安全使用
產品用于有害氣體或爆炸性氣體時，須嚴格按照產品使用說明或咨詢公司技術人員。有關產品應用的新信息，請與廠家聯系索取或訪問公司網站。強腐蝕性或氟化物氣體可能影響產品正常工作，甚至對產品造成毀損。產品經過密封處理并在裝箱前進行過防漏試驗，在高壓下使用必須按照產品使用說明的限制，否則會導致泄漏及安全問題。
注意：未經公司許可，任意改動或不當使用本產品可導致不可預見的損壞、人員傷害及其它有害后果，公司將不負任何責任。
產品保修
產品必須在說明書規定的正常工作條件下，嚴格按照正確的方法安裝、使用并維護保養。產品質量保證期，從發貨之日起提供365天免費保修。維修或更換的產品，保修期為 90 天或延續原保修期（以更長者為準）。
芯笙微納電子科技有限公司（以下簡稱芯笙科技）不對安裝、拆卸及替換（但并不僅限于安裝、拆卸及替換）所導致的任何直接及間接損害和損失承擔任何責任。為避免不必要的糾紛，用戶應將其有疑問的產品送還公司，公司對問題進行確認后，確定維修或替換。用戶承擔產品送交芯笙科技的費用及可能風險，芯笙科技承擔產品送還客戶的費用及可能風險。芯笙科技的所有銷售合同認定用戶自動接受此保修條件及其中芯笙科技的有限責任。僅芯笙科技有權更改、修訂保修條件或決定不執行其條款。
注意，下列情況不適用保修條款：
1）產品被改變、改裝、處于說明書規定的(或之外的)不正常環境及其它任何可被視為非正常使用的情況；
2）非本公司原裝產品。
對于產品拆封后的包裝箱體、填充材料、防靜電袋等廢棄物，請按照紙張、塑料和其他垃圾進行分類處理。對于達到使用壽命的產品，請參照國家對電子電器產品的相關報廢規定進行處理。
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