近日,由西安交通大學電氣工程學院質譜器團隊牽頭研發的“十四五”國家重點研發計劃“基礎科研條件與重大科學儀器研發專項”成果——高分辨輝光放電質譜儀(型號:Sparkle)完成用戶交付,標志著我國高端科學儀器國產化進程取得關鍵突破。

輝光放電質譜儀是探查固體材料的“超級顯微鏡”。在芯片制造等高端產業中,基體材料中哪怕混入痕量雜質,都可能引發晶格缺陷,導致整塊芯片失效。而輝光放電質譜儀具備低至ppt(萬億分之一)級別的超高痕量檢測限,是實現超高純材料雜質精準定量不可或缺的高端精密儀器。
過去,輝光放電質譜儀完全依賴進口,采購和維修成本極其高昂。此次商業化落地,直接解決了科薈測試等國內檢測機構和相關企業設備受制于人的關鍵痛點,大幅降低了國內材料檢測機構的設備采購與運維成本,提升了高純材料、集成電路材料等關鍵產品的質量檢測效率,助力企業突破技術瓶頸;通過自主可控的檢測裝備,保障了我國在戰略材料領域的供應鏈安全與數據安全,為高端制造、新能源、航空航天等產業提供堅實的技術支撐。

此次交付的商用機型,經整機調試,其豐度、靈敏度等十余項核心關鍵指標一次性通過驗收。設備現場運行穩定、出數據快、檢測精度完全達標,使用反饋優異,充分驗證了國產輝光放電質譜儀的可靠性與環境適應性。
Sparkle型輝光放電質譜儀由西安交通大學牽頭攻關,聯合西北核技術研究院、坤元儀器(天津)有限公司、北方工業大學、中國科學院上海硅酸鹽所、鋼研納克檢測技術股份有限公司、中國計量科學研究院、國合通用測試評價認證股份公司等單位開展儀器整機研發、工程化產業化、固體標準物質研制和分析方法開發,實現了關鍵零部件100%國產化,關鍵技術100%自主可控,性能指標達到國際先進水平,全面賦能我國集成電路材料領域的痕量雜質檢測能力,筑牢產業自主可控防線,徹底打破了國外技術封鎖。
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