
| 名 稱 | 數(shù) 據(jù) |
| 金屬臺(tái)面尺寸(MM) | 455×126 |
| X坐標(biāo)行程:(MM) | 300 |
| Y坐標(biāo)行程:(MM) | 125(調(diào)焦) |
| Z坐標(biāo)行程:(MM) | 150 |
| 擺動(dòng)范圍 | ±15° |
| 儀器測(cè)量精密度: | ≤(4+L/25) |
| X、Y坐標(biāo)數(shù)顯分辨率: | 0.0005MM |





















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