MFC-E系列緊湊型質量流量控制器 (Mass Flow Controll e r)是 一 款 專 為 氣 體 分 析 儀 、質 譜 儀 、配 氣 儀 等 行 業 所 開 發 的 一 款 高 精 度 、低 溫 漂 、高 可 靠 性 的 氣 體 質 量 流 量 控 制 器 產 品 。該 產 品 配 備 有 高 精 度 流 量 傳 感 器 、進 電 磁 比 例 閥 、3 1 6 L 不 銹 鋼 氣 路 座 等，具 有 精 度 高 、響 應 速 度 快 、穩 定 性 好 等 優 點 。操 作 使 用 方 便，可 廣 泛 用 于 。輸 出 和 控 制 信號包括：0-5V模擬信號和RS485數字通信方式 。
 

　　緊湊型質量流量控制器 產品應用于：半導體加工、分析和環保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
 

　　緊湊型質量流量控制器產品特點：
 

　　溫度和壓力不敏感
 

　　設計勁湊，可安裝任意位置
 

　　超快的響應速度
 

　　良好的重復性和再現性
 

　　可模擬采集、控制或數字采集、控制
 

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區國際創新園，孵化自山東大學。公司以高端氣體質量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導體核心零部件的研發、生產和銷售為主營業務，通過自主創新、產學研合作及成果轉化、行業整合等手段，實現快速發展，助力國家半導體產業的發展。
?????????公司現有發明專利21項，實用新型專利12項，國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內知名儀器儀表企業，全力打造國內一流研發團隊。
????????公司獲評國家高新技術企業、青島市“專精特新”企業，承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發機構，并承擔多項科技部重點研發計劃、山東省重大創新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。
????????公司現有千級和萬級潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設有制造基地和研發中心，全面保障產品的高質量、快速出貨能力，并提供專業的售前售后服務。