簡介

高性能MFC，為半導體行業量身打造

S300系列數字質量流量控制器/流量計：采用公司自主研發的工業級流量傳感器，結合精細拋光氣路結構以及高精度數字控制電路和算法，實現高精度、低零漂、高重復性控制。該產品配備現場顯示屏和地址編碼開關，多種通訊方式可選、可定制全金屬密封，適配半導體、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環境 。

主要優勢

S1 物理功能模塊豐富

頂部配置有豐富的功能模塊：

* RJ45數字通信接口(可定制

   EtherCAT或RS485協議)

* 地址編碼開關

* 現場顯示屏

* 狀態指示燈

此外，側面配置有M8航空供電接口，顯示直觀、操作簡單，方便用戶進行現場流量監測和控制。

S2 快速響應

1.5ms傳感器響應時間，0.1~0.5s儀表系統響應時間，及時捕捉微小流量變化。

S3 高精度

2.0%-百分F.S.全量程段保持高精度：

0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(＞30%F.S.)

S4 配備專用上位機

配備功能強大的SmartFlow上位機軟件，支持多臺聯動，方便進行監測和設備配置。

S5 認證產品

通過TüV國際機構CE&EMC認證，或JLY一級校準證書等，符合多項SEMI標準。

產品規格

*  除非另有說明，本產品標定于以下條件：氮氣、溫度25℃、2.5bar差壓(進氣口3.5bar絕壓對出氣口1bar

    絕壓)、水平放置安裝。

*  建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會引起精度產生偏差。

*  建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導致額外的壓損。

1  所示量程為氮氣可選量程。

2  %F.S.指誤差占滿量程的百分比。

3  %S.P.指誤差占設定值的百分比。

4  響應時間指達到設定值±2%以內所需要的時間。

5  工作壓力指進氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓，更多細節請聯系我們。

 尺寸及通信

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區國際創新園，孵化自山東大學。公司以高端氣體質量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導體核心零部件的研發、生產和銷售為主營業務，通過自主創新、產學研合作及成果轉化、行業整合等手段，實現快速發展，助力國家半導體產業的發展。
?????????公司現有發明專利21項，實用新型專利12項，國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內知名儀器儀表企業，全力打造國內一流研發團隊。
????????公司獲評國家高新技術企業、青島市“專精特新”企業，承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發機構，并承擔多項科技部重點研發計劃、山東省重大創新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。
????????公司現有千級和萬級潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設有制造基地和研發中心，全面保障產品的高質量、快速出貨能力，并提供專業的售前售后服務。